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潔凈廠房設(shè)計(jì)是潔凈廠房施工建設(shè)完成的依據(jù),也是潔凈廠房工程的重要組成部分。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,尤其是微電子技術(shù)的發(fā)展,使得微電子行業(yè)趨向更精細(xì)化、微型化...
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設(shè)計(jì)參數(shù) :靜態(tài)千級凈化車間溫度22~26℃,濕度65%,換氣次數(shù)50~60次/h,相對室外壓差30~35pa;小部分區(qū)域?yàn)殪o態(tài)萬級凈化車間,溫度26℃...